聯系我們
- 上海首立實業(yè)有限公司
 - 公司地址:上海市閔行區(qū)古美路1471號華城廣場307室
 - 公司傳真:86-21-54933358-813
 - 聯系QQ:
 

掃一掃,立刻溝通
                SC-1濃度計
- 產品型號:CS-131
 - 更新時間:2024-03-17
 - 產品介紹:概要CS-131是半導體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測儀,實現了過去所沒有的高速響應性和小巧化??梢猿r間的監(jiān)測微粒以及有機物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監(jiān)測輸出的回收控制,可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內,同時,還可以避免不必要的更換藥液工作。并且,冷卻器一體型也進入了產品陣容內,可適用較大范圍的樣品溫度。
 - 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
 
產品介紹
特點
監(jiān)測周期大約為2秒,支持300mm工藝的濃度管理
實現了以大約2秒為監(jiān)測周期(※)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)
小巧化設計有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右,這種小巧化設計有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。
(※和本公司產品CS-220系列進行比較)
通過減少清洗工藝中的批次不良,提高產量
通過濃度計的信號輸出,進行SC-1溶液的補給控制,從而實現高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良,從而推進產量的全面提高。
全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測是全自動方式,因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外,由于參照光譜測量時使用的是空氣,所以不需要用水。
通過采取全面的氣泡對策,可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡,在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內的發(fā)生次數抑制在zui低限度。并且,如果是冷卻器一體型產品,則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。
采用DC24V,實現高安全性
電源采用DC24V低壓電,提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且,由于內置漏水傳感器,在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等,采取緊急措施。
SC-1濃度計
CS-131
技術規(guī)格
|   型號和規(guī)格  |    CS-131:無冷卻器  | 
|   監(jiān)測對象  |    SC-1(氨/過氧化氫水溶液)  | 
|   測量原理  |    吸收光譜測定法  | 
|   濃度計算的原理  |    溫度補償型多變量解析法  | 
|   監(jiān)測范圍  |    氨:0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%  | 
|   再現性  |    氨: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%  | 
|   藥液條件 溫度  |    CS-131:20〜30℃  | 
|   藥液條件 流量  |    CS-131:20〜60mL/min  | 
|   藥液條件 壓力  |    0.10〜0.20MPa  | 
|   監(jiān)測周期  |    zui小約2秒(不包含藥液的置換時間・冷卻時間)  | 
|   設置溫度  |    20〜25℃  | 
|   操作面板  |    1)溫度檢測值的顯示:氨、過氧化氫、水  | 
|   串行輸入  |    RS-232C  | 
|   并行輸入  |    DC12〜30V(光電耦合器絕緣)  | 
|   并行輸出  |    開路集電極輸出為ON 時的zui大電流:5mA、為OFF時的zui大電壓:30V  | 
|   模擬輸出  |    4〜20mA(2輸出:NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)  | 
|   電源  |    DC24V±10%, 2A  | 
|   外形尺寸  |    CS-131:205(W)×329(D)×269(H)mm  | 
|   質量  |    CS-131:約11kg  | 
|   連接配管尺寸  |    導入用、排出用外徑均為3mm(內徑均為2mm)  | 
|   配管接頭  |    Nippon Pillar Super型  | 


